เตาเผาขจัดสารยึดเกาะด้วยลมร้อนไนโตรเจน HRF512-07N พร้อมห้องเผาขนาด 800*800*800 มม. เทอร์โมคัปเปิลชนิด K และรูปแบบการวางแนวตั้ง

เตาอบกำจัดสารยึดเกาะด้วยลมร้อนไนโตรเจน HRF512-07N เป็นอุปกรณ์แปรรูปความร้อนอุณหภูมิสูงที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ ชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ และวัสดุที่เกี่ยวข้อง ส่วนใหญ่ใช้สำหรับการอบแห้ง การบ่ม และขั้นตอนการกำจัดสารยึดเกาะ อุปกรณ์นี้ได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับกระบวนการอบชุบด้วยความร้อนที่ต้องใช้บรรยากาศที่ป้องกันด้วยไนโตรเจน ซึ่งช่วยป้องกันการเกิดออกซิเดชันหรือปฏิกิริยาที่ไม่พึงประสงค์อื่นๆ ในวัสดุภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง มีการใช้งานอย่างแพร่หลายในขั้นตอนการปรับสภาพเบื้องต้นของอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น การบรรจุภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ การเผาเซรามิก และโลหะวิทยาผง

ภาพถ่ายโดยละเอียด

II. พารามิเตอร์ทางเทคนิคหลัก

ช่วงอุณหภูมิการทำงานของอุปกรณ์นี้คือตั้งแต่ อุณหภูมิห้องถึง 650°C โดยมีอุณหภูมิทดสอบสูงสุด 700°C อย่างไรก็ตาม ในการใช้งานจริง โดยทั่วไปแนะนำให้รักษาอุณหภูมิการทำงานให้อยู่ต่ำกว่า 650°C เพื่อให้มั่นใจถึงการทำงานที่เสถียรในระยะยาวและอายุการใช้งาน ขนาดห้องที่มีประสิทธิภาพคือ 800 มม. (กว้าง) × 800 มม. (สูง) × 800 มม. (ลึก) เหมาะสำหรับข้อกำหนดการโหลดกระบวนการขนาดกลาง

อุปกรณ์มีดีไซน์โซนเดียวพร้อมจุดควบคุมอุณหภูมิหนึ่งจุด ขับเคลื่อนด้วยพัดลมแบบแรงเหวี่ยงเพื่อให้แน่ใจว่ามีการกระจายความร้อนสม่ำเสมอภายในห้อง ในการทดสอบสภาวะคงที่ในห้องเปล่า 1 ชั่วโมงที่ 650°C ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิสามารถเข้าถึง ±5°C ซึ่งตรงตามข้อกำหนดความสม่ำเสมอของอุณหภูมิของกระบวนการที่มีความแม่นยำส่วนใหญ่

องค์ประกอบความร้อนทำจากเครื่องทำความร้อนสแตนเลส ซึ่งมีลักษณะเฉพาะคือทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการเกิดออกซิเดชัน และประสิทธิภาพความร้อนสูง กำลังไฟทำความร้อนสูงสุดไม่เกิน 36 กิโลวัตต์ ทำให้มั่นใจได้ถึงการให้ความร้อนอย่างรวดเร็วและประสิทธิภาพการใช้พลังงาน ตัวเตาอบหุ้มฉนวนด้วยวัสดุไฟเบอร์เต็มรูปแบบ ให้ฉนวนกันความร้อนที่ดีเยี่ยมโดยมีการสูญเสียความร้อนน้อยที่สุด จึงช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการใช้พลังงานและรักษาสภาพแวดล้อมอุณหภูมิภายในที่คงที่

อุปกรณ์ใช้การระบายความร้อนตามธรรมชาติ ซึ่งหมายความว่าจะเย็นลงพร้อมกับเตาอบและไม่มีระบบระบายความร้อนแบบบังคับ ดังนั้น หลังจากการทำงานที่อุณหภูมิสูง จะต้องใช้เวลาในการระบายความร้อนตามธรรมชาติ ผู้ใช้ควรวางแผนเวลาในการระบายความร้อนและขั้นตอนการปฏิบัติงานตามข้อกำหนดของกระบวนการเฉพาะ

III. ข้อกำหนดด้านก๊าซ น้ำ และสิ่งแวดล้อม

การจ่ายไนโตรเจน

ในระหว่างการทำงาน จำเป็นต้องใช้ไนโตรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นบรรยากาศป้องกัน โดยมีความบริสุทธิ์อย่างน้อย 99.999% (ไนโตรเจน 5N) เพื่อป้องกันการเกิดออกซิเดชันของวัสดุที่อุณหภูมิสูง แรงดันทางเข้าไนโตรเจนควรอยู่ที่ระหว่าง 0.2 ถึง 0.4 MPa โดยมีอัตราการบริโภคประมาณ 10 m³ ต่อชั่วโมง ไนโตรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูงเข้าสู่ห้องผ่านระบบทางเข้า สร้างบรรยากาศเฉื่อยที่เสถียร ซึ่งเป็นปัจจัยสำคัญในการรับประกันคุณภาพของกระบวนการ

การจ่ายน้ำ (ถ้ามี)

หากอุปกรณ์ติดตั้งส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ (ขึ้นอยู่กับรุ่นและเวอร์ชันเฉพาะ) จะต้องจัดหาน้ำหล่อเย็นที่สะอาดและไม่กัดกร่อน อุณหภูมิน้ำไม่ควรเกิน 23°C โดยควบคุมแรงดันน้ำระหว่าง 0.2 ถึง 0.4 MPa และอัตราการไหลประมาณ 2 ถึง 6 ลิตรต่อนาที หากอุปกรณ์ไม่มีระบบระบายความร้อนด้วยน้ำ ข้อกำหนดนี้จะไม่มีผลบังคับใช้

สภาพแวดล้อมการทำงาน

อุปกรณ์มีข้อกำหนดเฉพาะสำหรับสภาพแวดล้อมการติดตั้งและการทำงาน ได้แก่:

• อุณหภูมิแวดล้อมควรอยู่ที่ระหว่าง 0 ถึง 40°C

• ความชื้นสัมพัทธ์ควรน้อยกว่า 80% RH โดยไม่มีการควบแน่น

• สถานที่ติดตั้งควรปราศจากก๊าซกัดกร่อน หลีกเลี่ยงความเสียหายจากกรด ด่าง หรือสารระเหยอินทรีย์

• ควรหลีกเลี่ยงกระแสลมแรงหรือการสั่นสะเทือนทางกลเพื่อป้องกันความไม่เสถียรในการทำงานของอุปกรณ์

• ต้องกำหนดค่าระบบไอเสียของผู้ใช้แบบไม่สัมผัสเพื่อปล่อยก๊าซไอเสียหรือส่วนผสมของไนโตรเจนออกจากห้อง โดยมีความจุไอเสียเกิน 15 m³ ต่อชั่วโมง เพื่อให้แน่ใจว่ามีการระบายอากาศและความปลอดภัยที่เหมาะสม

นอกจากนี้ พื้นการติดตั้งต้องได้ระดับ แข็งแรง และปราศจากการสั่นสะเทือนอย่างมีนัยสำคัญ โดยมีความสามารถในการรับน้ำหนักเกิน 300 กก. ต่อตารางเมตร เพื่อให้มั่นใจถึงเสถียรภาพและความปลอดภัยในการปฏิบัติงานในระยะยาว ขนาดพื้นที่ติดตั้งที่แนะนำคือ 2000 มม. (กว้าง) × 3000 มม. (ลึก) × 3000 มม. (สูง) โดยมีพื้นที่ขั้นต่ำ 6 m² เพื่ออำนวยความสะดวกในการวางอุปกรณ์ การทำงาน และการบำรุงรักษาตามปกติ

IV. ข้อกำหนดด้านไฟฟ้าและพลังงาน

อุปกรณ์ทำงานโดยใช้แหล่งจ่ายไฟสามเฟสห้าสายที่มีแรงดันไฟฟ้า 220/380 V และความถี่ 50 Hz กำลังไฟฟ้ารวมที่จำเป็นสำหรับการทำงานควรเกิน 50 kVA โดยมีขอบเขตที่แนะนำเพื่อรองรับความต้องการในการเริ่มต้นและโหลดเต็มที่

สีสายไฟเป็นไปตามการกำหนดค่ามาตรฐานสามเฟสห้าสาย: สายเฟส (L1, L2, L3) เป็นสีเหลือง เขียว และแดง ตามลำดับ สายกลาง (N) เป็นสีน้ำเงิน และสายดิน (PE) เป็นสีเหลือง-เขียว การเดินสายไฟต้องเป็นไปตามข้อกำหนดมาตรฐานเพื่อให้แน่ใจว่ามีการเชื่อมต่อทางไฟฟ้าที่ปลอดภัยและเชื่อถือได้ ป้องกันข้อผิดพลาดหรืออันตรายด้านความปลอดภัยเนื่องจากการเดินสายไฟที่ไม่ถูกต้อง

V. การกำหนดค่าระบบควบคุม

เตาอบกำจัดสารยึดเกาะด้วยลมร้อนไนโตรเจน HRF512-07N ติดตั้งระบบควบคุมขั้นสูงที่ประกอบด้วยคอมพิวเตอร์ระดับบนและคอมพิวเตอร์ระดับล่าง ทำให้มั่นใจได้ถึงการทำงานที่เสถียร การควบคุมที่แม่นยำ และการใช้งานที่เป็นมิตรกับผู้ใช้

• คอมพิวเตอร์ระดับบน: มีหน้าจอสัมผัสการกำหนดค่า MCGS พร้อมอินเทอร์เฟซที่ใช้งานง่ายและออกแบบสวยงาม ผู้ใช้สามารถตรวจสอบสถานะอุปกรณ์ ปรับพารามิเตอร์กระบวนการ ดูเส้นโค้งอุณหภูมิ และตรวจสอบข้อมูลการเตือนภัยได้แบบเรียลไทม์ ระบบรองรับการทำงานต่อเนื่องในระยะยาว ทำให้เหมาะสำหรับการผลิตในอุตสาหกรรมที่ไม่หยุดชะงัก

• คอมพิวเตอร์ระดับล่าง: รวมถึงตัวควบคุมอุณหภูมิ Yamatake C1A และ C1M และ Siemens PLC (ตัวควบคุมตรรกะแบบตั้งโปรแกรมได้) ตัวควบคุม Yamatake จัดการการควบคุมและวัดอุณหภูมิหลักด้วยความแม่นยำและความเสถียรสูง ในขณะที่ Siemens PLC จัดการการควบคุมเชิงตรรกะ การจัดการโปรแกรมการทำงาน และฟังก์ชันอัตโนมัติ ซึ่งช่วยเพิ่มสติปัญญาและความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์

ระบบควบคุมให้การเก็บรวบรวมข้อมูลและการควบคุมอุณหภูมิแบบเรียลไทม์ คอมพิวเตอร์ระดับบนสามารถดึงข้อมูลอุณหภูมิจากโมดูลควบคุมได้ทันทีและส่งต่อพารามิเตอร์กระบวนการที่ผู้ใช้กำหนดได้อย่างรวดเร็ว ทำให้มั่นใจได้ถึงการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำและตอบสนองได้ดี ซึ่งรับประกันความเสถียรและความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการ ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการกำจัดสารยึดเกาะ การอบแห้ง และการใช้งานก่อนการเผาผนึกที่มีข้อกำหนดการควบคุมอุณหภูมิที่เข้มงวด