فرن ترسب البخار الكيميائي CVD 1000 Ordm C فرن تسخين الذوبان

فرن ترسيب البخار الكيميائي من النوع MBF100-10 CVD 1000 درجة مئوية فرن صهر فرن تسخين معتمد من ISO وقود كهربائي

فرن ترسيب البخار الكيميائي من النوع MBF100-10

فرن ترسيب البخار الكيميائي (CVD) من النوع MBF100-10 مناسب للمعالجة الحرارية متوسطة الحرارة للمنتجات الإلكترونية. يستخدم في المقام الأول لعمليات تفاعل الطور الغازي للمواد ذات الصلة في أجواء من النيتروجين والهيليوم والأسيتيلين والهيدروجين. يمكن استخدامه أيضًا لعمليات التلبيد للمواد ذات الصلة في أجواء واقية.

• درجة الحرارة المقدرة:750 درجة مئوية
• أقصى درجة حرارة:1000 درجة مئوية
• أبعاد منطقة التسخين:770 × 770 × 300 مم (العرض × العمق × الارتفاع)
• الأبعاد الفعالة:640 × 640 × 250 مم (العرض × العمق × الارتفاع)
• مادة الغرفة الخارجية:SUS310S
• مادة البطانة الداخلية:كوارتز منصهر
• حجم المنتج:Φ120
• سعة المعدات:16 ركيزة لكل دفعة
• أقصى طاقة تسخين:16 كيلو واط
• طريقة التسخين:القاع + أربعة جوانب
• نقاط التحكم في درجة الحرارة:القاع + الجانب
• نوع المزدوجة الحرارية:النوع K
• معدل التسخين:≤8 درجة مئوية/دقيقة
• عناصر التسخين:سخانات ألياف السيراميك FEC
• طريقة فتح باب الفرن:تصميم الفتح العلوي
• استقرار التحكم في درجة الحرارة:±1 درجة مئوية
• جهاز التحكم في درجة الحرارة:وحدة تحكم PID مستوردة مع وظيفة الضبط التلقائي
• خطوات البرنامج:20 خطوة
• الإنذار والحماية:ارتفاع درجة الحرارة، وكسر المزدوجة الحرارية، وإنذارات صوتية/مرئية أخرى، مع حماية إيقاف التشغيل عند ارتفاع درجة الحرارة
• ارتفاع درجة حرارة السطح: <35 درجة مئوية
• الوزن:حوالي 500 كجم
• أبعاد الفرن:حوالي 1200 × 1200 × 1500 مم (العرض × الارتفاع × العمق)

4.1 الظروف البيئية:درجة الحرارة 0 - 40 درجة مئوية، الرطوبة ≤ 80% رطوبة نسبية، لا غازات أكالة، لا اضطراب قوي لتدفق الهواء.

4.2 متطلبات الأرض:مستوى، لا اهتزاز واضح، قدرة تحمل > 500 كجم/متر مربع.

4.3 شروط الطاقة:سعة أكبر من 22 كيلو فولت أمبير، 3 مراحل 5 خطوط، جهد 220/380 فولت، تردد 50 هرتز (حسب الوضع المحلي). السلك الحي: أصفر، أخضر، أحمر، السلك المحايد: أزرق، سلك التأريض: أصفر-أخضر.

4.4 موقع التثبيت:1500 مم × 1500 مم × 3000 مم (العرض × الارتفاع × العمق)، مساحة التثبيت أكبر من 2.5 متر مربع.